電子機械システム研究室
■専門分野
強力超音波用振動系の設計・応用、非線形波動現象の応用、圧電を用いたアクチュエータ
■研究の内容
■研究室分野キーワード
■関連業種
本研究室では、20kHz~数MHzの超音波周波数領域における圧電効果を用いたアクチュエータ、センサに関する研究を行っています。アクチュエータでは、超音波振動を利用した粉体搬送を研究しており、製薬、食品、医用などへの応用を考えています。また、小型で推力のあるリニアアクチュエータの実現も目指しています。センサでは、水中で使う小型・低消費電力のディジタル通信機と、それらを使ったセンサネットワークを開発しています。
電気電子 機械・制御
電子部品・デバイス・電子回路製造業
精密機械製造業
情報通信機械器具製造業
精密機械製造業
情報通信機械器具製造業
■教員研究テーマ
ポリ乳酸を用いた圧電アクチュエータの実現、光ファイバーハイドロホンを用いた音圧計測、GPSの時刻同期信号を用いた音場計測、多自由度超音波モータ、接触部過熱による発火現象の解明
■相談可能な分野
■保有機器
■研究室のスタンス
超音波洗浄
水中通信
高周波音場計測
搬送装置
水中通信
高周波音場計測
搬送装置
レーザドップラー振動速度計
インピーダンスアナライザ
インピーダンスアナライザ
![](./images/detail/legend.png)
![](./images/detail/kiso_2.png)
![](./images/detail/oyo_5.png)
![](./images/detail/dev_3.png)
■主な論文
- 1点の振動軌跡測定による振動インテンシティベクトル推定(2002/09 日本音響学会英文誌)
- 複数振動子による近距離場音波浮揚を用いた非接触搬送法の大面積化(2000/05 日本応用物理学会誌)
- 有限要素法を用いた超音波振動工具のパワーフローベクトル推定(2000/02 日本応用物理学会誌)
- 近距離場音波浮揚を用いた非接触搬送(2000/02 超音波)
- 傾斜をもうけたくさび形超音波発生器による流れ中にある微粒子選別(2000/02 超音波)
- 近距離場音波浮揚における板状物体の保持特性(2000/02 超音波)
- 外締め構造を有する大口径ボルト締めランジュバン型ねじり振動子(1999/09 日本音響学会英文誌)
- 液中近距離場に置かれた板状物体に働く放射力の検討(1999/09 日本応用物理学会誌)
- ねじり振動子負荷試験用放射板の設計方法(1999/03 日本音響学会英文誌)
- たわみ進行波を用いた非接触物体搬送(1998/06 米国音響学会英文誌)
- 音波浮揚を用いた板状物体の非接触保持・搬送(1997/11 日本電気学会論文誌)
- 複数の複合振動子型超音波モータの電気的直列接続運転(1997/10 電子情報通信学会論文誌)
- ねじり振動系のためのトルク合成法の検討(1997/06 アメリカ電気学会誌超音波周波数制御部門)
- 負荷されたランジュバン型たわみ振動子の等価回路(1997/05 日本応用物理学会誌)
- 振動板接続による音波非接触搬送の拡大(1997/05 日本応用物理学会誌)
- たわみ振動板を用いた近距離場音波浮揚(1996/10 米国音響学会英文誌)
- 太い断面を持つランジュバン型たわみ振動子の力係数の導出(1996/05 日本応用物理学会誌)
- 周波数微調整機構を有する縦-ねじり複合振動子(1995/05 日本音響学会英文誌)
- 縦振動を用いた板状物体の超音波浮揚(1995/05 日本音響学会英文誌)
- 超音波振動工具の過渡振動解析(1993/05 日本応用物理学会誌)
- たわみ振動子を用いた複合振動子型リニア超音波モータ(1991/05 日本応用物理学会誌)
- 新しい導波路管型超音波洗浄機(2009/07 日本応用物理学会誌)
- 新しい導波路管型超音波洗浄機のCMP後処理洗浄への適用(2009/07 日本応用物理学会誌)
- ドップラシフトによる超音波センサの感動補正制御(2008/07 日本応用物理学会誌)
- 導波路モードを用いた超音波洗浄機用振動子による次世代半導体ウエーハ洗浄(2010/09 日本音響学会誌)
- Ultrasonic Welding of the Polyethylene Bag Containing Silicone Grease(2014/10 )
- Application of Novel Ultrasonic Cleaning Equipment That Uses the Waveguide Mode for the Single-Wafer Cleaning Process(2011/10 Japanese journal of applied physics)